1. Az űrlapot széles körben használják kisméretű és alacsony minőségű tisztatéri műhelyek tervezésében. A kiváló minőségű tiszta műhelyek nagy területén az üzemeltetési költség túl magas.túl nagy a hely és egyéb hiányosságok.
2.Az űrlap kialakítása megfelel az integrált áramkör-gyártás nagy területű és magas szintű pormentes műhelyének követelményeinek, de az üzemeltetési költség magas, és a tiszta helyiség szélsebessége és levegőmennyisége nehezen állítható, és a A rendszert nehéz frissíteni és átalakítani, így a működési rugalmasság nem különösebben magas.
3.A fejkeringtető rendszer nem csak a működési helyet takarítja meg, a tisztaságot, a magas biztonságot, az alacsony üzemeltetési költségeket és a nagy működési rugalmasságot, de nem befolyásolja a gyártási helyzetet bármikor a rendszer korszerűsítéséhez és beállításához, jól megfelel a félvezetőgyártás igényeinek. , ezért a félvezetőgyártásban a fejkeringtető rendszer fokozatosan a fő tisztítási tervezési rendszerré válik